在催化燃烧过程中，活性氧是一种重要的催化剂，可以促进有机废气中的碳氢化合物等污染物的氧化反应，从而达到有机废气处理的目的。活性氧的深度氧化是指在催化燃烧过程中，活性氧与有机废气中的碳氢化合物等污染物发生反应，将其完全氧化为二氧化碳、水和其他无害物质的过程。

具体来说，活性氧的深度氧化过程包括以下几个步骤：

1、活性氧与有机废气中的碳氢化合物等污染物发生反应，形成自由基等中间产物。

2、这些中间产物继续与氧气等氧化剂发生反应，形成更稳定的氧化物。

3、这些氧化物与废气中的其他物质发生反应，形成二氧化碳、水等无害物质，从而达到净化废气的目的。

需要注意的是，活性氧的深度氧化过程需要在催化剂的作用下进行，催化剂可以加速反应速率，提高反应效率，从而达到更好的净化效果。同时，在催化燃烧过程中，还需要控制反应温度、反应时间等参数，以保证反应的完全性和净化效果。