RTO装置氮氧化物产生量主要取决于温度，在相同条件下，氮氧化物的生成量随温度增高而增大，当温度低于1350℃时，几乎不生成热力型氮氧化物。
一般情况下，RTO装置工作温度约为760~850℃，在此情况下，热力氧化器氮氧化物的产生量极少，因此建设项目废气处理系统内不设氮氧化物处理装置。
RTO装置是蓄热式焚烧炉，其工作原理是将有机废气预热至760℃以上，在燃烧室加热升温至800℃左右，使废气中的碳、氢、氧元素氧化分解成为无害的二氧化碳和水；氧化时的高温气体的热量被特制的陶瓷蓄热体"贮存"起来，用于预热新进入的有机废气。
